УДК 621.382

Пивоваренок, С. А. Процессы микро- и нанотехнологий: учебное пособие / С. А. Пивоваренок, Д. В. Ситанов; Иван. гос. хим.-технол. ун-т. – Иваново, 2016. – 254 с.

Учебное пособие содержит подробное описание базовых процессов планарной технологии изготовления интегральных микросхем в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются процессы очистки материалов, получение эпитаксиальных пленок на поверхности подложек, формирование защитных и пассивирующих покрытий, а также фотолитография, диффузия и изготовление печатных плат. Каждый раздел пособия содержит перечень вопросов для самоподготовки. С целью получения практических навыков и закрепления теоретического материала в пособие включены шесть базовых лабораторных работ по основным технологическим процессам. Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание материалов и лабораторного оборудования, порядок выполнения работы и лабораторное задание.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Химическая технология» при изучении дисциплины «Процессы микро- и нанотехнологий».