УДК 621.385

Холодкова, Н. В. Математическое моделирование технологических процессов: учеб. пособие / Н. В. Холодкова, С. А. Смирнов; Иван. гос. хим.-технол. ун-т.– Иваново, 2019. – 88 с.

В учебном пособии изложены основные подходы к построению математических моделей и этапы математического моделирования.

Подробно рассмотрены математические модели технологических процессов производства изделий электронной техники (диффузия, термическое окисление, имплантация), а также кинетика химических реакций. В каждом разделе приведены контрольные вопросы для самоконтроля студентов и расчетные задания для численного решения. В приложении представлены справочные данные, необходимые для выполнения расчетных заданий. Приведен терминологический словарь.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 18.03.01 «Химическая технология», профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», профиль «Нанотехнологии и микросистемная техника».