Шутов Д.А., Ситанов Д.В. Процессы микро- и нанотехнологий: Лабораторный практикум. Ч. 2 / Иван. гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново. 2006. - 141 с.

Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу «Процессы микро- и нанотехнологий», входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 «Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника» и посвящен изучению технологий очиcтки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП – интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах. Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки. При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ «Протон» г. Зеленоград.