УДК 533.5:531.78

Холодкова, Н.В. Техника высокого вакуума: лабораторный практикум / Н.В. Холодкова, И.В. Холодков; Иван. гос. хим.-технол. ун-т. – Иваново, 2014. – 143 с.

Лабораторный практикум включает описание 8 лабораторных работ по основным разделам лекционного курса, в которых дана в необходимом объеме теоретическая часть, методика выполнения и контрольные вопросы.

Предназначен для студентов направления подготовки «Электроника и наноэлектроника» профиля подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и направления подготовки «Химическая технология» профиля подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники» при изучении дисциплины «Техника высокого вакуума». Практикум может быть полезен и для студентов других технологических специальностей, практических инженеров.