Проектирование цехов и участков электровакуумного и полупроводникового производства: метод. указания к курсовому и дипломному проектированию / Сост. А.Н. Иванов, В.Н. Михеев; Иван. гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2009. - 32 с.

Методические указания включают структуру и содержание курсового и дипломного проектов.

Предназначены для студентов специальностей: 240306 - "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" 210104 - "Микроэлектроника и твердотельная электроника".