Шутов Д.А. Методы исследований материалов и структур: лабораторный практикум / Д.А. Шутов, Д.В. Ситанов; Иван. гос. хим.-технол. ун.-т. - Иваново, 2009. 84 с.

Лабораторный практикум содержит описание и порядок выполнения пяти базовых лабораторных работ по курму "Методы исследований материалов и структур", входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и посвящен изучению методов исследования электрофизических параметров, структуры, состава материалов и структур микроэлектроники.

Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.

Полный текст (4.57 Мб)